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ICP是电感耦合等离子体，是一种离子激发源。ICP-OES是利用等离子体激发光源（ICP）使试样蒸发汽化，离解或分解为原子状态，原子可进一步电离成离子状态，原子及离子在光源中激发发光。利用分光系统将光源发射的光分解为按波长排列的光谱，之后利用光电器件检测光谱，根据测定得到的光谱波长对试样进行定性分析，按发射光强度进行定量含量测定。ICP-MS是电感耦合等离子体质谱仪，一般测定时样品由载气（氩气）引入雾化系统进行雾化后，以气溶胶形式进入等离子体中心区，在高温和惰性气体中被去溶剂化、汽化解离和电离，转化成带正电荷的正离子，经离子采集系统进入质谱仪，质谱仪根据质荷比进行分离，根据元素质谱峰强度测定样品中相应元素的含量。

1.可以对块体，粉末，液体等各类样品进行目标元素的精确定量分析，准确性可以达到±5%以内。

2.可以对痕量元素进行分析，ICP-MS可以达到ppb-ppt级别。ICP-OES可以达到ppb级别。

3.利用痕量元素的精确测量，可以对一些高纯材料，通过定量检测杂质元素含量的方法，进行计算主体成分纯度，比如高纯石英、高纯锗、高纯金属等。